Fasilitas panyalindungan seuneu mangrupikeun bagian penting tina kamar bersih. Pentingna henteu ngan kusabab alat-alat prosés sareng proyék konstruksina mahal, tapi ogé kusabab kamar bersih mangrupikeun gedong katutup, sareng sawaréh aya bengkel anu teu aya windows. The passages kamar beresih anu sempit tur tortuous, sahingga hésé pikeun ngévakuasi tanaga jeung ngajarkeun seuneu. Pikeun mastikeun kasalametan kahirupan sareng harta masarakat, kabijakan panyalindungan seuneu "pencegahan heula, gabungan pencegahan sareng seuneu" kedah dilaksanakeun dina rarancang. Salian nyandak ukuran pencegahan seuneu éféktif dina desain kamar bersih, Sajaba ti éta, fasilitas seuneu-tarung perlu ogé nyetél. Karakteristik produksi kamar bersih nyaéta:
(1) Aya seueur alat sareng alat anu presisi, sareng rupa-rupa gas sareng cair anu gampang kaduruk, ngabeledug, korosif, sareng toksik. Bahaya seuneu tina sababaraha bagian produksi kalebet Kategori C (sapertos difusi oksidasi, fotolitografi, implantasi ion, percetakan sareng bungkusan, sareng sajabana), sareng sababaraha kalebet kana Kategori A (sapertos tarikan kristal tunggal, epitaxy, déposisi uap kimia, jsb. .).
(2) Kamar beresih kedap udara pisan. Sakali seuneu ngarecah kaluar, éta bakal hésé pikeun ngévakuasi tanaga jeung mareuman seuneu.
(3) Biaya pangwangunan kamar bersih luhur sareng alat-alat sareng alat-alatna mahal. Sakali seuneu ngarecah kaluar, karugian ékonomi bakal badag.
Dumasar kana ciri di luhur, kamar bersih ngagaduhan syarat anu luhur pikeun panyalindungan seuneu. Salian panyalindungan seuneu sareng sistem suplai cai, alat-alat pemadam seuneu tetep ogé kedah dipasang, khususna alat-alat sareng alat-alat anu berharga di kamar bersih kedah ditangtukeun sacara saksama.
waktos pos: Apr-11-2024