Laju ngahasilkeun chip dina industri manufaktur IC raket patalina jeung ukuran jeung jumlah partikel hawa anu disimpen dina chip. Organisasi aliran hawa anu alus bisa mindahkeun partikel anu dihasilkeun ku sumber lebu ti rohangan bersih pikeun mastikeun kabersihan rohangan bersih, nyaéta, organisasi aliran hawa dina rohangan bersih maénkeun peran penting dina laju ngahasilkeun produksi IC. Desain organisasi aliran hawa dina rohangan bersih kudu ngahontal tujuan ieu: ngurangan atawa ngaleungitkeun arus eddy dina widang aliran pikeun nyingkahan ingetan partikel ngabahayakeun; ngajaga gradien tekanan positif anu pas pikeun nyegah kontaminasi silang.
Gaya aliran hawa
Numutkeun prinsip kamar bersih, gaya anu mangaruhan partikel kalebet gaya massa, gaya molekul, tarikan antara partikel, gaya aliran udara, jsb.
Gaya aliran hawa: nujul kana gaya aliran hawa anu disababkeun ku pangiriman, aliran hawa balik, aliran hawa konveksi termal, pengadukan jieunan, sareng aliran hawa sanésna kalayan laju aliran anu tangtu pikeun ngabawa partikel. Pikeun kontrol téknis lingkungan rohangan bersih, gaya aliran hawa mangrupikeun faktor anu paling penting.
Ékspérimén nunjukkeun yén dina gerakan aliran hawa, partikel-partikel nuturkeun gerakan aliran hawa dina kecepatan anu ampir sami. Kaayaan partikel dina hawa ditangtukeun ku distribusi aliran hawa. Aliran hawa anu mangaruhan partikel jero ruangan utamina kalebet: aliran hawa suplai hawa (kalebet aliran hawa primér sareng aliran hawa sekundér), aliran hawa sareng aliran hawa konvéksi termal anu disababkeun ku jalma anu leumpang, sareng aliran hawa anu disababkeun ku operasi prosés sareng peralatan industri. Métode suplai hawa anu béda, antarmuka kecepatan, operator sareng peralatan industri, sareng fénoména anu diinduksi dina kamar bersih mangrupikeun faktor anu mangaruhan tingkat kabersihan.
Faktor-faktor anu mangaruhan organisasi aliran hawa
1. Pangaruh metode suplai hawa
(1). Laju suplai hawa
Pikeun mastikeun aliran hawa anu rata, kecepatan suplai hawa kedah seragam dina rohangan bersih anu searah; zona paéh tina permukaan suplai hawa kedah alit; sareng turunna tekanan dina ULPA ogé kedah seragam.
Laju suplai hawa seragam: nyaéta, teu ratana aliran hawa dikontrol dina ±20%.
Zona paéh dina beungeut suplai hawa anu kirang: teu ngan ukur daérah bidang pigura ULPA anu kedah dikirangan, tapi anu langkung penting, FFU modular kedah diadopsi pikeun nyederhanakeun pigura anu kaleuleuwihi.
Pikeun mastikeun aliran hawa hiji arah vertikal, pilihan turunna tekanan saringan ogé penting pisan, anu meryogikeun leungitna tekanan dina saringan henteu tiasa nyimpang.
(2). Babandingan antara sistem FFU sareng sistem kipas aliran aksial
FFU nyaéta unit suplai hawa anu dilengkepan kipas sareng saringan (ULPA). Saatos hawa disedot ku kipas séntrifugal FFU, tekanan dinamis dirobih janten tekanan statis dina saluran hawa sareng ditiup kaluar sacara rata ku ULPA. Tekanan suplai hawa dina siling nyaéta tekanan négatip, janten teu aya lebu anu bocor ka rohangan bersih nalika saringan diganti. Ékspérimén parantos nunjukkeun yén sistem FFU langkung unggul tibatan sistem kipas aliran aksial dina hal keseragaman saluran kaluar hawa, paralelisme aliran hawa sareng indéks efisiensi ventilasi. Ieu kusabab paralelisme aliran hawa sistem FFU langkung saé. Panggunaan sistem FFU tiasa ngajantenkeun aliran hawa di rohangan bersih langkung teratur.
(3). Pangaruh struktur FFU sorangan
FFU utamina diwangun ku kipas, saringan, alat pituduh aliran hawa sareng komponén sanésna. Saringan efisiensi ultra-luhur ULPA mangrupikeun jaminan anu paling penting pikeun naha rohangan bersih tiasa ngahontal kabersihan anu diperyogikeun tina desain. Bahan saringan ogé bakal mangaruhan keseragaman widang aliran. Nalika bahan saringan kasar atanapi pelat aliran laminar ditambahkeun kana outlet saringan, widang aliran outlet tiasa gampang didamel seragam.
2. Dampak tina antarmuka kecepatan anu béda-béda kana kabersihan
Dina rohangan bersih anu sami, antara daérah kerja sareng daérah anu henteu kerja tina aliran unidirectional vertikal, kusabab bédana kecepatan hawa di outlet ULPA, pangaruh vortex campuran bakal dihasilkeun dina antarmuka, sareng antarmuka ieu bakal janten zona aliran hawa turbulén kalayan inténsitas turbulénsi hawa anu luhur pisan. Partikel tiasa dikirimkeun ka permukaan alat sareng ngotoran alat sareng wafer.
3. Dampak staf sareng peralatan
Nalika rohangan bersih kosong, karakteristik aliran hawa di rohangan éta umumna nyumponan sarat desain. Sakali alat-alat asup ka rohangan bersih, tanaga gawé pindah sareng produk dikirimkeun, pasti bakal aya halangan pikeun organisasi aliran hawa. Salaku conto, di juru atanapi sisi alat anu nonjol, gas bakal dialihkeun pikeun ngabentuk zona turbulén, sareng cairan dina zona éta henteu gampang dibawa ku gas, sahingga nyababkeun polusi. Dina waktos anu sami, permukaan alat bakal panas kusabab operasi anu terus-terusan, sareng gradien suhu bakal nyababkeun zona reflow caket mesin, anu bakal ningkatkeun akumulasi partikel dina zona reflow. Dina waktos anu sami, suhu anu luhur bakal gampang nyababkeun partikel kabur. Éfék ganda ieu ngajantenkeun héséna ngontrol kabersihan laminar vertikal sacara umum. Lebu ti operator di rohangan bersih gampang pisan nempel kana wafer dina zona reflow ieu.
4. Pangaruh lanté hawa balik
Nalika résistansi hawa balik anu ngaliwat lanté béda, bédana tekanan bakal dihasilkeun, sahingga hawa bakal ngalir ka arah résistansi anu kirang, sareng aliran hawa anu seragam moal kahontal. Métode desain anu populér ayeuna nyaéta nganggo lanté anu ditinggikeun. Nalika laju muka lanté anu ditinggikeun nyaéta 10%, kecepatan aliran hawa dina jangkungna ruangan tiasa disebarkeun sacara rata. Salian ti éta, perhatian anu ketat kedah dibayar kana padamelan beberesih pikeun ngirangan sumber polusi lanté.
5. Fenomena induksi
Anu disebut fenomena induksi nujul kana fenomena aliran hawa dina arah anu sabalikna tina aliran seragam dihasilkeun, sareng lebu anu dihasilkeun di rohangan atanapi lebu di daérah anu kacemar di gigireunana diinduksi ka sisi anu ngalawan angin, sahingga lebu tiasa ngotoran chip. Ieu di handap mangrupikeun fenomena induksi anu mungkin:
(1). Pelat buta
Dina rohangan anu bersih kalayan aliran unidirectional vertikal, kusabab sambungan dina témbok, umumna aya pelat buta ageung anu bakal ngahasilkeun turbulénsi dina aliran balik lokal.
(2). Lampu
Lampu-lampu di rohangan bersih bakal gaduh dampak anu langkung ageung. Kusabab panas lampu fluoresensi nyababkeun aliran hawa naék, moal aya daérah anu ngagulung di handapeun lampu fluoresensi. Sacara umum, lampu di rohangan bersih dirancang dina bentuk tetesan cai mata pikeun ngirangan dampak lampu kana organisasi aliran hawa.
(3.) Celah antara témbok
Nalika aya celah antara partisi kalayan tingkat kabersihan anu béda atanapi antara partisi sareng plafon, lebu ti daérah anu sarat kabersihanna handap tiasa dipindahkeun ka daérah caket dieu anu sarat kabersihanna luhur.
(4). Jarak antara mesin sareng lanté atanapi témbok
Upami celah antara mesin sareng lanté atanapi témbok alit pisan, éta bakal nyababkeun turbulénsi pantulan. Ku alatan éta, tinggalkeun celah antara alat sareng témbok sareng angkat mesin supados mesin henteu némpél taneuh langsung.
Waktos posting: Feb-05-2025