Laju ngahasilkeun chip dina industri manufaktur IC raket patalina jeung ukuran jeung jumlah partikel hawa disimpen dina chip. Organisasi aliran hawa anu saé tiasa nyandak partikel anu dihasilkeun ku sumber lebu jauh tina kamar bersih pikeun mastikeun kabersihan kamar bersih, nyaéta, organisasi aliran hawa di kamar bersih maénkeun peran anu penting dina tingkat ngahasilkeun produksi IC. Desain organisasi aliran hawa di kamar bersih kedah ngahontal tujuan di handap ieu: ngurangan atawa ngaleungitkeun arus eddy dina widang aliran pikeun nyegah ingetan partikel ngabahayakeun; ngajaga gradién tekanan positip anu pas pikeun nyegah kontaminasi silang.
Gaya aliran hawa
Numutkeun prinsip kamar bersih, gaya nu nimpah partikel kaasup gaya massa, gaya molekular, atraksi antara partikel, gaya aliran hawa, jsb
gaya aliran hawa: nujul kana gaya aliran hawa disababkeun ku pangiriman, balik airflow, convection termal aliran hawa, aduk jieunan, sarta aliran hawa séjén kalawan laju aliran tangtu mawa partikel. Pikeun kadali téknis lingkungan kamar bersih, gaya aliran hawa mangrupikeun faktor anu paling penting.
Ékspérimén nunjukkeun yén dina gerakan aliran hawa, partikel nuturkeun gerakan aliran hawa dina laju anu ampir sami. Kaayaan partikel dina hawa ditangtukeun ku sebaran aliran hawa. Aliran udara anu mangaruhan partikel jero ruangan utamina kalebet: aliran udara suplai hawa (kalebet aliran udara primér sareng aliran udara sekundér), aliran hawa sareng aliran hawa konvéksi termal disababkeun ku jalma leumpang, sareng aliran hawa anu disababkeun ku operasi prosés sareng peralatan industri. Métode suplai hawa béda, interfaces speed, operator jeung alat industri, sarta fenomena ngainduksi dina kamar bersih sadayana faktor mangaruhan tingkat kabersihan.
Faktor anu mangaruhan organisasi aliran hawa
1. Pangaruh métode suplai hawa
(1). Laju suplai hawa
Pikeun mastikeun aliran hawa seragam, laju suplai hawa kedah seragam dina kamar bersih unidirectional; zone maot tina beungeut suplai hawa kudu leutik; sarta serelek tekanan dina ULPA ogé kudu seragam.
Laju suplai hawa seragam: nyaéta, henteu rata aliran hawa dikontrol dina ± 20%.
Zona anu kirang maot dina permukaan suplai hawa: henteu ngan ukur daérah pesawat tina pigura ULPA kedah dikirangan, tapi anu langkung penting, FFU modular kedah diadopsi pikeun nyederhanakeun pigura anu kaleuleuwihan.
Pikeun mastikeun aliran hawa unidirectional nangtung, pilihan serelek tekanan tina saringan ogé penting pisan, merlukeun leungitna tekanan dina saringan teu bisa nyimpang.
(2). Babandingan antara sistem FFU jeung sistem kipas aliran axial
FFU mangrupikeun unit suplai hawa kalayan kipas sareng saringan (ULPA). Saatos hawa disedot ku kipas centrifugal FFU, tekanan dinamis dirobih janten tekanan statik dina saluran hawa sareng ditiup sacara merata ku ULPA. Tekanan suplai hawa dina siling téh tekanan négatip, ku kituna euweuh lebu bakal bocor kana kamar bersih lamun filter nu diganti. Ékspérimén nunjukkeun yén sistem FFU langkung unggul tibatan sistem kipas aliran axial dina hal keseragaman outlet hawa, paralelisme aliran udara sareng indéks efisiensi ventilasi. Ieu kusabab paralelisme aliran udara tina sistem FFU langkung saé. Pamakéan sistem FFU tiasa ngajantenkeun aliran hawa di kamar bersih langkung teratur.
(3). Pangaruh struktur FFU sorangan
FFU utamana diwangun ku fans, saringan, alat pituduh aliran hawa sareng komponenana lianna. Filter efisiensi ultra-tinggi ULPA mangrupikeun jaminan anu paling penting pikeun naha kamar bersih tiasa ngahontal kabersihan desain anu diperyogikeun. Bahan saringan ogé bakal mangaruhan kaseragaman médan aliran. Lamun bahan filter kasar atawa plat aliran laminar ditambahkeun kana outlet filter, widang aliran outlet bisa gampang dijieun seragam.
2. Dampak tina interfaces speed béda tina kabersihan
Di kamar bersih sarua, antara wewengkon gawé sarta non-kerja aréa aliran unidirectional nangtung, alatan bédana dina speed hawa di outlet ULPA, pangaruh vortex dicampur bakal dihasilkeun dina panganteur, sarta panganteur ieu bakal jadi zone aliran hawa ngagalura kalawan inténsitas kaayaan nu teu tenang hawa utamana tinggi. Partikel tiasa dikirimkeun ka permukaan alat sareng ngotorkeun alat sareng wafer.
3. Dampak staf jeung alat
Nalika kamar bersih kosong, ciri aliran hawa di kamar umumna minuhan sarat desain. Sakali alat-alat asup ka kamar bersih, tanaga pindah jeung produk anu dikirimkeun, aya inevitably bakal halangan pikeun organisasi aliran hawa. Contona, di juru protruding atawa edges pakakas, gas bakal dialihkeun pikeun ngabentuk zona ngagalura, sarta cairan dina zone teu gampang dibawa kabur ku gas, sahingga ngabalukarkeun polusi. Dina waktu nu sarua, beungeut pakakas bakal panas nepi alatan operasi kontinyu, sarta gradién hawa bakal ngabalukarkeun zone reflow deukeut mesin, nu bakal ningkatkeun akumulasi partikel dina zone reflow. Dina waktu nu sarua, suhu luhur bakal gampang ngabalukarkeun partikel kabur. Pangaruh dual aggravates kasusah ngadalikeun sakabéh kabersihan laminar nangtung. Lebu ti operator di kamar bersih pisan gampang pikeun taat kana wafers di zona reflow ieu.
4. Pangaruh lantai hawa balik
Nalika résistansi hawa balik ngaliwatan lantai béda, bédana tekanan bakal dihasilkeun, ku kituna hawa bakal ngalir dina arah kirang lalawanan, sarta aliran hawa seragam moal diala. Metodeu desain anu populer ayeuna nyaéta ngagunakeun lantai anu luhur. Nalika laju muka lantai luhur 10%, laju aliran hawa dina jangkungna kerja kamar tiasa disebarkeun merata. Salaku tambahan, perhatian anu ketat kedah dibayar pikeun ngabersihkeun padamelan pikeun ngirangan sumber polusi lantai.
5. fenomena induksi
Nu disebut fenomena induksi nujul kana fenomena yén aliran hawa dina arah nu lalawanan tina aliran seragam dihasilkeun, sarta lebu dihasilkeun di kamar atawa lebu di wewengkon kacemar padeukeut ieu ngainduksi ka sisi upwind, ku kituna lebu nu bisa ngotorkeun chip. Ieu di handap aya kamungkinan fénoména induksi:
(1). Piring buta
Dina kamar bersih kalayan aliran unidirectional nangtung, alatan mendi dina témbok, aya pelat buta umumna badag anu bakal ngahasilkeun kaayaan nu teu tenang dina aliran balik lokal.
(2). Lampu
The fixtures cahaya dina kamar beresih bakal boga dampak gede. Kusabab panas lampu fluoresensi ngabalukarkeun aliran hawa naek, moal aya wewengkon ngagalura handapeun lampu fluoresensi. Sacara umum, lampu di kamar bersih dirancang dina bentuk teardrop pikeun ngurangan dampak lampu dina organisasi aliran hawa.
(3.) Gaps antara témbok
Nalika aya sela antara partisi kalayan tingkat kabersihan anu béda-béda atanapi antara partisi sareng siling, lebu tina daérah anu syarat kabersihan rendah tiasa dialihkeun ka daérah anu padeukeut kalayan syarat kabersihan anu luhur.
(4). Jarak antara mesin jeung lanté atawa témbok
Lamun celah antara mesin jeung lanté atawa témbok pisan leutik, éta bakal ngabalukarkeun kaayaan nu teu tenang rebound. Ku alatan éta, ninggalkeun gap antara parabot jeung témbok jeung ngangkat mesin pikeun nyegah letting mesin noél taneuh langsung.
waktos pos: Feb-05-2025