Laju ngahasilkeun chip dina industri IC Organisasi bodas anu saé tiasa nyandak partikel anu dihasilkeun ku sumber debu jauh ti kamar anu bersih pikeun mastikeun panyebaran beresih dina tingkat produksic. Desain Organisasi Airfow di kamar anu bersih pikeun ngahontal tujuan ieu: ngirangan atanapi Ngaleungitkeun Eddy anu ayeuna dina bidang aliran pikeun nyegah partikel ngabahayakeun; Ngajaga grillén tekanan positip anu cocog pikeun nyegah kontaminasi cross.
Kakuatan udara udara
Numutkeun prinsip ruang beresih, kakuatan anu ngalakukeun dina partikel dina kakuatan massa, pastriat molitis, attawan antara partikel, sareng kakuatan udara, jsb.
Gawasan udara udara: ngarujuk kana kakuatan tina siram udara anu disababkeun ku pangiriman, balik walkaphow, aduk seru termal, adas artfalial, sareng aliran aliran anu sanés janten kana partikel. Pikeun kontrol téknis ngeunaan lingkungan kamar beresih, gaya udara udara nyaéta faktor anu paling penting.
Eksperimen parantos nunjukkeun yén dina gerakanir regur laut, partikel nuturkeun gerakan udara bumi dina laju ampir laju anu sami. Kaayaan partikel dina hawa ditangtukeun ku distribusi udara inuman. Saastflows anu mangaruhan parutara jero ruangan ieu kalebet: suplai hawa siram hawa (kalebet wirflower prolfowt sareng sekuruler hawa imut anu disababkeun ku jalma-jalma anu disababkeun ku prosés operasi sareng perhatosan. Cara pasiut hawa anu béda, sumura gancar laju, operator sareng hiji Perumpérialis Vistial, sareng dileungitkeun di kamar beresih sacara umum.
Faktor mangaruhan organisasi aliran udara
1. Pangaruh metode suplai hawa
(1). Kecepatan suplai hawa
Pikeun mastikeun seuneu seuneu saragam, leuwih laju masak kedah seragam di kamar anu bersih. zona paéh tina permukaan pasokan hawa kedah alit; sareng tekanan dina ULPA ogé kedah aya seragam.
Kecepatan Pasokan Panutup: Nya, anu henteu anevensirnown kedah dikawasa dina ± 20%.
Sakapeung zona anu gering dina puncak pasokan hawa: henteu ngan ukur kedah lokasi pesawat tina ulstra diréduksi, tapi langkung penting, ffu modulés kedah diadopsi pikeun ngagambar pigura kaleuleuwih.
Pikeun mastikeun siram sunda anu henteu knordiral, pilihan turun tekanan disingkar Sembakna ogé penting pisan, meryogikeun yén tekanan dina saringan teu tiasa disimpang.
(2). Bandingkeun antara sistem FFU sareng sistem kipas
FFU mangrupikeun unit suplai hawa sareng kipas sareng saringan (Ulpa). Saatos hawa disedih dina nyaéta kipas rapihrrifugal, tekanan dinamik dibengkelkeun kana tekanan statik di baska. Tekan Panas Lambang Crease dina langit nyaéta tekanan négatip, ku henteu henteu debeuh bakal bocor kana rohangan bersih nalika saringan diganti. Eksperimen nunjukkeun yén sistem FFU anu unggul ka sistem fisher Fips Transisity Talu Lacak, Artalflow Paralely sareng Indentity Expressation. Ieu sabab paralelisme udara udara sistem ffu langkung saé. Pamakéan sistem FFU tiasa ngadamel udara di kamar beresih anu langkung saé dikelompokeun.
(3). Pangaruh struktur ffu
FFU utamana diwangun ku fans, saringan, alat pituduh fudfowlow sareng komponén sanés. Peringkat Nilai ultra anu tinggi nyaéta jamaran anu paling penting pikeun jam anu paling penting pikeun kamar beresih tiasa ngahontal kabersihan desain anu dipikabutuh ku desain. Bahanna saringan normal bakal mangaruhan saragvasi lapangan aliran. Nalika bahan laras laras atanapi piring aliran loinarar ditambah kana toko saringan, widang exletlet tiasa gampang jalan seragam.
2. Dampak interfaces laju anu béda
Di kamar bersih anu sami, di antara daérah damel sareng daérah non-damel tina aliran hawa anu matak sanés nalika dieusian ulang, sareng pangabutuh vortex ieu bakal janten gurat 3 ieu bakal jadi gempa zona aliran hawa nganggo inténsitas udara udara anu luhur. Partikel anu tiasa dikirimkeun ka beungeut alat sareng ngotorkeun alat sareng wafers.
3. Dampak staf sareng alat
Nalika kamar beresih kosong, ciri-spésif nyebarkeun hawa dina ruangan syarat desain. Sakali alat asup kana kamar bersih, mindahkeun tanaga sareng produk dikirimkeun, moal teu dibios janten halangan pikeun organisasi aliran hawa. Salaku conto, dina sudut protruding atanapi ujung pakakas, gas bakal ngabentuk bahan bedah, sareng cairan dina zona henteu gampang dibawa ku polusi, sahingga ngagaduhan polusi. Dina waktu anu sami, permukaan alat bakal panas dugi ka operasi kontinyu, sareng panggedan suhu bakal nyababkeun zona garansi caket mesin dina chard offlow dina ngumpulkeun reflow dina zona gurun. Dina waktos anu sami, suhu luhur lila gampang ngabalukarkeun partikel jungan. Pangaruh duaan ngaberkeun kasusah ngontrol kabersihan lambé overlicaler langkung ageung. Dibi tina operator di kamar beresih gampang pisan taat kana wafers dina zona gedéksi ieu.
4. Pangaruh balikkeun hawa
Nalika résistansi hawa mulang ngalangkungan lantai éta béda, bédana tekanan bakal dirékam, supados hawa bakal ngalir dina arah anu kakulas, sareng hawa aram seragam. Metode desain populér ayeuna nyaéta ngagunakeun lantai luhur. Nalika laju buka tina lantai anu luhur panjang 10%, laju hawa udara dina jangkungna kerja kerja ruangan meribah. Salaku tambahan, perhatosan kedah dibayangkeun pikeun ngabersihkeun karya pikeun ngirangan sumber polusi.
5. Phenomenon induksi
The anu disebut fenomenon induk ngarujuk kana fenomena yén tempat udara anu di sabalikna tina aliran seragam dibangkitkeun, sareng lebu ngahasilkeun di rohangan atanapi lebu di sisi tiasa nyusun chip. Ieu mangrupikeun fenomena induksi:
(1). Piring buta
Di kamar anu bersih kalayan aliran anu sanés, kusabab mendi dina témbok batré ageung anu bakal ngahasilkeun pamunding lokal.
(2). Lampu
Rosing lampu di kamar beresih bakal gaduh dampak anu langkung ageung. Kusabab panas fluoresensi nyababkeun bumi udara nabét, bakal sanés daérah ngagalura anu handapeun lampu buah-lampu. Sacara umum, lampu di ruangan bersih dirarancang dina bentuk tétriop pikeun ngirangan dampak ramo lampu alami anu anyir.
(3.) jurang antara témbok
When there are gaps between partitions with different cleanliness levels or between partitions and ceilings, dust from the area with low cleanliness requirements can be transferred to the adjacent area with high cleanliness requirements.
(4). Jarak antara mesin sareng lantai atanapi témbok
Upami jurang antara mesin sareng lantai atanapi témbok leutik pisan, éta bakal ngabalukarkeun proboensi rebuen. Ku, tinggalkeun sarons antara parabot sareng témbok sareng ngangkat mesin pikeun ngangkat macemat langsung.
Waktu Pasang: Feb-05-2025