Hasil chip dina industri manufaktur chip raket patalina jeung ukuran jeung jumlah partikel hawa anu disimpen dina chip. Organisasi aliran hawa anu alus bisa mindahkeun partikel anu dihasilkeun tina sumber lebu tina rohangan bersih sarta mastikeun kabersihan rohangan bersih. Hartina, organisasi aliran hawa dina rohangan bersih maénkeun peran penting dina hasil produksi chip. Tujuan anu kudu dihontal dina desain organisasi aliran hawa rohangan bersih nyaéta: pikeun ngurangan atawa ngaleungitkeun arus eddy dina widang aliran pikeun nyingkahan ingetan partikel anu ngabahayakeun; pikeun ngajaga gradien tekanan positif anu pas pikeun nyegah kontaminasi silang.
Numutkeun prinsip kamar bersih, gaya anu mangaruhan partikel kalebet gaya massa, gaya molekul, gaya tarik antara partikel, gaya aliran hawa, jsb.
Gaya aliran hawa: nujul kana gaya aliran hawa anu disababkeun ku aliran hawa suplai sareng mulang, aliran hawa konveksi termal, agitasi jieunan, sareng aliran hawa sanés kalayan laju aliran anu tangtu pikeun mawa partikel. Pikeun kontrol téknologi lingkungan kamar bersih, gaya aliran hawa mangrupikeun faktor anu paling penting.
Ékspérimén nunjukkeun yén dina gerakan aliran hawa, partikel nuturkeun aliran hawa dina kecepatan anu ampir sami. Kaayaan partikel dina hawa ditangtukeun ku distribusi aliran hawa. Pangaruh utama aliran hawa kana partikel jero ruangan kalebet: aliran hawa suplai hawa (kalebet aliran hawa primér sareng aliran hawa sekundér), aliran hawa sareng aliran hawa konvéksi termal anu disababkeun ku jalma anu leumpang, sareng dampak aliran hawa kana partikel anu disababkeun ku operasi prosés sareng peralatan industri. Métode suplai hawa anu béda, antarmuka kecepatan, operator sareng peralatan industri, fénoména anu diinduksi, jsb. dina kamar bersih mangrupikeun faktor anu mangaruhan tingkat kabersihan.
1. Pangaruh metode suplai hawa
(1) Laju suplai hawa
Pikeun mastikeun aliran hawa anu seragam, kecepatan suplai hawa dina rohangan bersih aliran unidirectional kedah seragam; zona paéh dina permukaan suplai hawa kedah alit; sareng turunna tekanan dina filter hepa ogé kedah seragam.
Laju suplai hawa seragam: nyaéta, teu ratana aliran hawa dikontrol dina ±20%.
Rohangan paéh dina beungeut suplai hawa leuwih saeutik: teu ngan ukur wewengkon pesawat pigura hepa anu kudu dikirangan, tapi anu leuwih penting, FFU modular kudu dipaké pikeun nyederhanakeun pigura anu kaleuleuwihi.
Pikeun mastikeun aliran hawa vertikal sareng hiji arah, pilihan turunna tekanan saringan ogé penting pisan, sareng diperyogikeun yén leungitna tekanan dina saringan henteu tiasa bias.
(2) Babandingan antara sistem FFU sareng sistem kipas aliran aksial
FFU nyaéta unit suplai hawa anu dilengkepan kipas sareng saringan hepa. Hawa disedot ku kipas séntrifugal FFU sareng ngarobih tekanan dinamis janten tekanan statis dina saluran hawa. Éta ditiup kaluar sacara rata ku saringan hepa. Tekanan suplai hawa dina siling nyaéta tekanan négatif. Ku cara kieu moal aya lebu anu bocor ka rohangan bersih nalika ngaganti saringan. Ékspérimén parantos nunjukkeun yén sistem FFU langkung unggul tibatan sistem kipas aliran aksial dina hal keseragaman saluran kaluar hawa, paralelisme aliran hawa sareng indéks efisiensi ventilasi. Ieu kusabab paralelisme aliran hawa sistem FFU langkung saé. Panggunaan sistem FFU tiasa ningkatkeun organisasi aliran hawa dina rohangan bersih.
(3) Pangaruh struktur FFU sorangan
FFU utamina diwangun ku kipas, saringan, pituduh aliran hawa sareng komponén sanésna. Saringan hepa mangrupikeun jaminan anu paling penting pikeun rohangan bersih pikeun ngahontal kabersihan anu diperyogikeun ku desain. Bahan saringan ogé bakal mangaruhan keseragaman widang aliran. Nalika bahan saringan kasar atanapi pelat aliran ditambahkeun kana outlet saringan, widang aliran outlet tiasa gampang didamel seragam.
2. Dampak antarmuka kecepatan kalayan kabersihan anu béda
Dina rohangan bersih anu sami, antara daérah damel sareng daérah anu henteu damel kalayan aliran unidirectional vertikal, kusabab bédana kecepatan hawa dina kotak hepa, pangaruh pusaran campuran bakal kajantenan dina antarmuka, sareng antarmuka ieu bakal janten zona aliran hawa anu turbulén. Inténsitas turbulénsi hawa khususna kuat, sareng partikel tiasa dikirimkeun ka permukaan mesin peralatan sareng ngotoran peralatan sareng wafer.
3. Dampak kana staf sareng peralatan
Nalika rohangan bersih kosong, karakteristik aliran hawa di rohangan éta umumna nyumponan sarat desain. Sakali alat-alat asup ka rohangan bersih, jalma-jalma pindah, sareng produk diangkut, pasti aya halangan pikeun organisasi aliran hawa, sapertos titik seukeut anu nonjol tina mesin alat. Di juru atanapi sisi, gas bakal dialihkeun pikeun ngabentuk daérah aliran anu turbulén, sareng cairan di daérah éta moal gampang dibawa ku gas anu lebet, sahingga nyababkeun polusi.
Dina waktos anu sami, permukaan alat mékanis bakal dipanaskeun kusabab operasi anu terus-terusan, sareng gradien suhu bakal nyababkeun daérah aliran deui caket mesin, anu ningkatkeun akumulasi partikel dina daérah aliran deui. Dina waktos anu sami, suhu anu luhur bakal gampang nyababkeun partikel kaluar. Éfék ganda nguatkeun lapisan vertikal sacara umum. Kasulitan ngontrol kabersihan aliran. Lebu ti operator di rohangan bersih tiasa gampang nempel kana wafer di daérah aliran deui ieu.
4. Pangaruh lanté hawa balik
Nalika résistansi hawa anu balik deui ngaliwatan lanté béda, bédana tekanan bakal kajadian, ngabalukarkeun hawa ngalir ka arah résistansi leutik, sareng aliran hawa anu seragam moal kahontal. Métode desain anu populér ayeuna nyaéta nganggo lanté anu ditinggikeun. Nalika babandingan bubuka lanté anu ditinggikeun nyaéta 10%, kecepatan aliran hawa tiasa disebarkeun sacara rata dina jangkungna kerja di jero ruangan. Salian ti éta, perhatian anu ketat kedah dibayar kana padamelan beberesih pikeun ngirangan sumber polusi dina lanté.
5. Fenomena induksi
Fenomena induksi nuduhkeun fenomena ngahasilkeun aliran hawa dina arah anu sabalikna tina aliran seragam, ngainduksi lebu anu dihasilkeun di rohangan atanapi lebu di daérah anu kacemar di sisi anu ngalawan angin, sahingga nyababkeun lebu ngotoran wafer. Fenomena anu mungkin diinduksi kalebet ieu di handap:
(1) Pelat buta
Dina rohangan anu bersih kalayan aliran hiji arah vertikal, kusabab sambungan dina témbok, umumna aya panel buta ageung anu bakal ngahasilkeun aliran turbulén sareng aliran balik lokal.
(2) Lampu
Lampu di rohangan bersih bakal gaduh dampak anu langkung ageung. Kusabab panas lampu fluoresensi nyababkeun aliran hawa naék, lampu fluoresensi moal janten daérah anu ngagulung. Sacara umum, lampu di rohangan bersih dirancang dina bentuk tetesan cai mata pikeun ngirangan dampak lampu kana organisasi aliran hawa.
(3) Celah antara témbok
Nalika aya celah antara témbok partisi atanapi plafon kalayan sarat kabersihan anu béda, lebu tina daérah anu sarat kabersihanna handap tiasa dipindahkeun ka daérah caket dieu anu sarat kabersihanna luhur.
(4) Jarak antara alat mékanis sareng lanté atanapi témbok
Upami celah antara alat mékanis sareng lanté atanapi témbok alit, turbulénsi pantulan bakal kajantenan. Ku alatan éta, tinggalkeun celah antara alat sareng témbok sareng angkat platform mesin pikeun nyingkahan kontak langsung sareng taneuh.
Waktos posting: 02-Nop-2023