Ngahasilkeun chip dina industri manufaktur chip raket patalina jeung ukuran jeung jumlah partikel hawa disimpen dina chip.Organisasi aliran hawa anu saé tiasa nyandak partikel anu dihasilkeun tina sumber lebu jauh tina kamar bersih sareng mastikeun kabersihan kamar bersih.Hartina, organisasi aliran hawa di cleanroom muterkeun hiji peran penting dina ngahasilkeun produksi chip.Tujuan anu bakal dihontal dina desain organisasi aliran hawa kamar bersih nyaéta: ngirangan atanapi ngaleungitkeun arus eddy dina médan aliran pikeun ngahindarkeun ingetan partikel anu ngabahayakeun;pikeun ngajaga gradién tekanan positip anu pas pikeun nyegah kontaminasi silang.
Numutkeun prinsip kamar bersih, gaya nu nimpah partikel kaasup gaya massa, gaya molekular, daya tarik antara partikel, gaya aliran hawa, jsb.
Gaya aliran hawa: nujul kana gaya aliran hawa disababkeun ku suplai jeung balik aliran hawa, aliran hawa convection termal, agitation jieunan, sarta airflows séjén kalawan laju aliran tangtu mawa partikel.Pikeun kadali téknologi lingkungan kamar bersih, gaya aliran hawa mangrupikeun faktor anu paling penting.
Ékspérimén nunjukkeun yén dina gerakan aliran hawa, partikel nuturkeun aliran hawa dina laju anu ampir sami.Kaayaan partikel dina hawa ditangtukeun ku distribusi aliran hawa.Balukar utama aliran hawa dina partikel jero ruangan kalebet: aliran udara suplai hawa (kalebet aliran udara primér sareng aliran udara sekundér), aliran hawa sareng aliran hawa konvéksi termal disababkeun ku jalma leumpang, sareng dampak aliran hawa kana partikel anu disababkeun ku operasi prosés sareng peralatan industri.Métode suplai hawa béda, interfaces speed, operator jeung alat industri, fénoména ngainduksi, jsb dina cleanrooms sagala faktor anu mangaruhan tingkat kabersihan.
1. Pangaruh métode suplai hawa
(1) Laju suplai hawa
Pikeun mastikeun aliran hawa seragam, laju suplai hawa di kamar bersih aliran unidirectional kudu seragam;zone maot dina beungeut suplai hawa kudu leutik;sareng serelek tekanan dina saringan hépa ogé kedah seragam.
Laju suplai hawa seragam: nyaéta, henteu rata aliran hawa dikontrol dina ± 20%.
Aya kirang spasi maot dina beungeut suplai hawa: teu ukur aréa pesawat tina pigura hépa kudu ngurangan, tapi leuwih importantly, FFU modular kudu dipaké pikeun simplify pigura kaleuleuwihan.
Dina raraga pikeun mastikeun yén aliran hawa téh nangtung sarta unidirectional, pilihan serelek tekanan tina filter ogé pohara penting, sarta diperlukeun yén leungitna tekanan dina filter nu teu bisa bias.
(2) Babandingan antara sistem FFU jeung sistem kipas aliran axial
FFU mangrupikeun unit suplai hawa kalayan kipas sareng saringan hépa.Hawa disedot ku kipas centrifugal FFU sareng ngarobih tekanan dinamis kana tekanan statik dina saluran hawa.Ditiup merata ku saringan hepa.Tekanan suplai hawa dina siling nyaéta tekanan négatip.Ku cara ieu moal aya lebu anu bocor ka kamar bersih nalika ngagentos saringan.Percobaan geus ditémbongkeun yén sistem FFU téh punjul ti sistem kipas aliran axial dina watesan uniformity outlet hawa, parallelism aliran hawa sarta indéks efisiensi ventilasi.Ieu kusabab paralelisme aliran hawa tina sistem FFU leuwih hadé.Pamakéan sistem FFU tiasa ningkatkeun organisasi aliran hawa di kamar bersih.
(3) Pangaruh struktur FFU sorangan
FFU utamana diwangun ku fans, saringan, Panungtun aliran hawa sarta komponén séjén.Filter hépa mangrupikeun jaminan anu paling penting pikeun kamar bersih pikeun ngahontal kabersihan anu diperyogikeun ku desain.Bahan saringan ogé bakal mangaruhan kaseragaman médan aliran.Lamun bahan filter kasar atawa plat aliran ditambahkeun kana outlet filter, widang aliran outlet bisa gampang dijieun seragam.
2. Dampak panganteur speed kalawan kabersihan béda
Di kamar bersih anu sami, antara daérah damel sareng daérah anu henteu dianggo kalayan aliran unidirectional nangtung, kusabab bédana laju hawa dina kotak hépa, pangaruh vortex dicampur bakal lumangsung dina antarmuka, sareng antarmuka ieu bakal janten ngagalura. zona aliran hawa.Inténsitas kaayaan nu teu tenang hawa utamana kuat, sarta partikel bisa dikirimkeun ka beungeut mesin parabot sarta ngotorkeun parabot na wafers.
3. Dampak dina staf jeung alat
Nalika kamar bersih kosong, karakteristik aliran hawa di kamar umumna minuhan sarat desain.Sakali alat-alat asup ka kamar bersih, jalma-jalma pindah, sareng produk diangkut, pasti aya halangan pikeun organisasi aliran hawa, sapertos titik-titik seukeut anu kaluar tina mesin peralatan.Di juru atawa tepi, gas bakal mindahkeun pikeun ngabentuk wewengkon aliran turbulent, sarta cairan di wewengkon moal gampang kabawa ku gas asup, sahingga ngabalukarkeun polusi.
Dina waktu nu sarua, beungeut pakakas mékanis bakal dipanaskeun alatan operasi kontinyu, sarta gradién hawa bakal ngabalukarkeun wewengkon reflow deukeut mesin, nu ngaronjatkeun akumulasi partikel di wewengkon reflow.Dina waktu nu sarua, suhu luhur bakal gampang ngabalukarkeun partikel kabur.Pangaruh ganda nguatkeun lapisan vertikal sakabéh.Kasusah ngadalikeun kabersihan stream.Debu ti operator di kamar bersih tiasa gampang nempel kana wafer di daérah reflow ieu.
4. Pangaruh lantai hawa balik
Nalika résistansi hawa balik ngaliwatan lantai béda, bédana tekanan bakal lumangsung, ngabalukarkeun hawa ngalir dina arah lalawanan leutik, sarta aliran hawa seragam moal diala.Metodeu desain anu populer ayeuna nyaéta ngagunakeun lantai anu luhur.Nalika rasio pambukaan lanté anu luhur nyaéta 10%, laju aliran hawa tiasa disebarkeun merata dina jangkungna kerja jero ruangan.Sajaba ti éta, perhatian ketat kudu dibayar ka beberesih karya pikeun ngurangan sumber polusi di lantai.
5. fenomena induksi
Nu disebut fenomena induksi nujul kana fenomena generating airflow dina arah nu lalawanan ka aliran seragam, inducing lebu dihasilkeun di kamar atawa lebu di wewengkon kacemar padeukeut ka sisi upwind, kukituna ngabalukarkeun lebu ngotorkeun wafer nu.Fenomena induksi anu mungkin kalebet ieu:
(1) Piring buta
Dina kamar bersih kalayan aliran hiji arah nangtung, alatan mendi dina témbok, umumna aya panels buta badag anu bakal ngahasilkeun aliran ngagalura sarta backflow lokal.
(2) Lampu
Perlengkapan cahaya di kamar bersih bakal gaduh pangaruh anu langkung ageung.Kusabab panas lampu fluoresensi nyababkeun aliran hawa naék, lampu fluoresensi moal janten daérah anu ngagalura.Sacara umum, lampu di kamar bersih dirancang dina bentuk teardrop pikeun ngurangan dampak lampu dina organisasi aliran hawa.
(3) Gaps antara témbok
Nalika aya sela antara témbok partisi atanapi siling kalayan syarat kabersihan anu béda, lebu tina daérah anu syarat kabersihan rendah tiasa dialihkeun ka daérah anu padeukeut kalayan syarat kabersihan anu luhur.
(4) Jarak antara parabot mékanis jeung lanté atawa témbok
Lamun celah antara parabot mékanis jeung lanté atawa témbok leutik, turbulensi rebound bakal lumangsung.Ku alatan éta, ninggalkeun gap antara alat jeung témbok jeung ngangkat platform mesin pikeun nyegah kontak langsung jeung taneuh.
waktos pos: Nov-02-2023